采用第三代改良西門子技術,獨創高效循環生產工藝,引進第二代尾氣回收系統(CDI)、DCS控制系統及熱氫化裝置,其四氯化硅的回收利用率達到99%以上,可實現零排放標準。
多晶號
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1#磷檢
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2#磷檢
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3#硼檢
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4#硼檢
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檢
驗
結
果
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型號
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N
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N
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P
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P
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電阻率(Ω·cm)
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90
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80
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550
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500
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壽命(us)
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250
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290
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氧(at/cm3)
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<5.0X1016
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<5.0X1016
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碳(at/cm3)
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<3.0X1016
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<2.98X1016
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外觀與夾層檢驗
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備注
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樣棒夾芯約1/3
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樣棒夾芯約1/3
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