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類型 P
摻雜劑 Boron
規(guī)格 125*125 ± 0.5mm, 156*156 ± 0.5mm
厚度 200 ± 20 µ m
電阻率 1~3 Ω .cm 3~6 Ω .cm
少子壽命 ≥ 10 µ s
晶向 <100> ± 3°
切割方式 Multiple wire cut
TTV ≤ 20 µ m
垂直度 90° ± 0.5°
位錯密度 ≤3000cm-2
氧含量 ≤1.0*1018 cm-3
碳含量 ≤5.0*1016 cm-3
浙公網(wǎng)安備 33010602000811號